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气体混装的合算从容器输运的安全来说，尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时，按照下列方法进行合算。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，高纯度特种气体，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

特种气体系统：

主管路系统的设计

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，安徽特种气体，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，特种气体厂，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。后管道还要有良好的接地。

特种气体的一般概念  

临界温度和临界压力。因为任何气体在一点温度和压力下都可以液化，温度越高，高纯度特种气体，液化所需要的压力也越高，但是当温度超过某一数值时，即使在增加多大的压力也不能液化，这个温度叫临界温度 ，在这一温度下zui低的压力就叫做临界压力，例如：水的临界温度为374.15℃，临界压力为225.65kgf/cm2，氨的临界温度为132.4℃，临界压力为115.2kgf/cm2。

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